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仪器设备开放共享 | 校级公共实验平台仪器设备推介 半导体器件分析仪

来源:分析化学 阅读数:464 时间:2020-10-10 12:04:11

近年来,随着集成电路技术以及信息技术的不断发展,半导体领域产业规模不断地扩大,微纳半导体光电子器件测试与分析技术得到广泛应用。半导体器件分析仪不仅可以对微米乃至纳米尺度的器件进行测试分析,还可用于工业级芯片质量的检测,其强大的测量和分析功能满足了基础科研、纳米材料以及高尖端集成电路等领域的测试需求,有效支撑了半导体光电子科学的研究与发展。


一、设备简介


图1 半导体器件分析仪


制造商:Keysight technologies (是德科技)

型号:B1500A


仪器主要参数和特性



二、设备原理


半导体器件分析仪将多种测量和分析功能整合,可精确快速地进行器件表征。它是目前唯一能够提供广泛的器件表征功能以及最出色测量可靠性和可重复性的多功能参数分析仪。其基本原理是将多种源表模块、测量单元通过电路设计相结合,并通过Keysight EasyEXPERT group+界面软件实现多种测试选择和操作。