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电感耦合等离子体-质谱法测定高纯四甲基氢氧化铵中超痕量金属元素
符靓 , 施树云 , 陈晓青
doi:  10.11895/j.issn.0253-3820.171061
建立了高纯四甲基氢氧化铵(TMAH)中超痕量金属元素的分析方法。25%(w/w)高纯TMAH溶液样品经超纯水稀释后直接进样,应用电感耦合等离子体串联质谱(ICP-MS/MS)法测定其中12种超痕量金属元素。在MS/MS模式下,分别向碰撞/反应池(CRC)中加入O2和NH3-He(1:9,V/V),消除质谱干扰,采用O2质量转移法对Cr、Mn、Ni和Mo进行测定,O2原位质量法对Cd和Pb进行测定,NH3质量转移法对Fe、Co、Cu和Zn进行测定,NH3原位质量法对Mg和Al进行测定。12种金属元素的检出限为0.3~57.2 ng/L,加标回收率在92.0%~106.0%之间,相对标准偏差(RSD)≤4.6%,表明本方法具有良好的准确性和精密度。本方法已成功应用于25%高纯TMAH溶液中超痕量金属元素的分析。
关键词: 四甲基氢氧化铵, 电感耦合等离子体串联质谱, 金属元素, 质量转移法, 原位质量法